MEMS技术发展现状及未来发展趋势

MEMS技术作为一门多学科高度交叉的前沿学科领域,在近些年来得到迅速发展,在航空、航天、生物技术等领域都有广泛的应用。该技术可实现优质高产低耗,大大提高系统的可靠性和智能化功能,已经成为电子领域活跃的发展方向之一。论述了MEMS微系统技术的重要性,从微感知与微控制、微流动控制、微惯性测量装置、微型飞行器、可穿戴和可植入式装备、纳机电谐振器、扫描隧道显微镜等七大方面分别论述MEMS微系统技术发展现状,并对该技术进行了展望,以期对未来发展并应用该技术具有借鉴意义。     

MEMS微陀螺研究与发展述评

本文概述了MEMS微陀螺的典型军事应用及需求。总结了国内外研究概况。并就我国开展MEMS微陀螺的研究提出建议。     

微小型武器发展动向

微小型武器是20世纪90年代美国等先进工业国家开始发展的新概念武器,它不但在基础理论、设计、制造与计量测试技术等方面是革命性创新,而且对21世纪战争的模式将会带来变革性的影响。 基于微米、纳米、微机电系统技术发展起来的微小型武器技术的内涵是:根据微小型武器特殊功能和特性,应用微机电系统(MEMS)、计算机、感知、控制等先进技术,通过软、硬件接口,综合集成为微小     

正在起飞的MEMS技术

过去的两年中,以微机电系统(MEMS)和微光机电系统(MOEMS)为基础的技术开始走出实验室,除了早期为航空、汽车工业生产的各种MEMS传感器,以及导管等其他可植入医疗器件外,已在其他一些领域找到商业应用,最著名的例子就是光学开关和DNA测序。其结果是引起了关注微观世界的新浪潮。 一些咨询部门估计,目前     

新一代火工技术及其应用

微电子机械系统(MEMS)火工技术是火工品继第一代、第二代后,国内外近几年研究和发展起来的一种高新火工技术。本文简述了MEMS火工技术的概念以及MEMS火工器件的结构原理与特点,并介绍了MEMS火工技术在航天、弹药和医疗等领域的研究进展及其应用情况。     

低成本微小型无人机航姿测量系统设计

根据微小型无人机航姿测量需求,利用MEMS传感器设计了一种低成本的航姿测量系统．针对低成本MEMS陀螺仪本身漂移较大、容易发散、无法完成较长时间较高精度测量的特点,提出一种实时性强、计算量小的信息融合方法．利用地球重力场、地磁场2个参考向量,采用互补滤波对不同传感器的数据进行融合,实现提高该航姿测量系统测量精度的目的．实验结果表明,该航姿测量系统的更新速率达到450Hz,姿态角测量误差〈1°,航向角测量误差〈2°,能够满足微小型无人机航向和姿态测量需求．     

基于非线性技术的AUV组合导航新方法

针对小型AUV对低成本、微小型、高性能导航系统的需求,提出了一种基于MEMS技术的IMU/DVL组合导航新方法.分析了低成本惯性导航系统的特点和误差模型,为有效提高系统的导航精度引入多酱勒测速仪与微机械惯性测量单元相组合,并采用无迹卡尔曼滤波(UKF)算法设计组合导航系统的滤波器.仿真结果表明,基于UKF滤波的MEMS...     

军用微型机器人及其关键技术

现代科学技术的发展,特别是微细加工技术和微机电系统的飞速发展为微型机器人的出现奠定了技术基础。微型机器人并非现有机器人在尺寸上的简单微型化,而是指以微机电系统技术(MEMS)为依托,具有微小尺寸结构,可进行微细操作的机器人。微型机器人的最基本的部件是微型机电系统,它是将微型传感器、微型驱动器、微型开关、微型电机、微型电子器件有机地组合在一起,用特殊材料封装而成的。     

MEMS惯性测量组合在无人机飞行参数测量中的应用

介绍了在无人机飞行试验中应用MEMS微惯性测量组合来解算飞行姿态、速度位置等参数的某个实例.试验结果表明,由此系统所得到的数据及曲线能够很好地描述实际飞行过程.试验数据为进一步地相关分析提供了有利的依据.     

微小型卫星的应用及发展

随着信息技术的不断发展及在空间信息战中的不断应用,卫星的发展及应用广受关注。本文通过与传统大中型卫星的对比,论述了微小型卫星的特点。并举例说明了微小型卫星最初应用目的和在通信、军事侦察两方面的应用现状。最后,在特点及应用的基础上分析了微小型卫星个体结构和组网应用两方面的发展趋势。     

微光栅加速度计温度控制研究

微光栅加速度计凭借着极高灵敏度和分辨率等优势成为近几年的研究热点,但外界环境温度的变化会影响其输出精度。为优化其温度特性,提出了一种两级内外温控系统。通过介绍微光栅加速度计的基本原理,分析了由于半导体激光器和MEMS敏感芯片的温度特性对其造成的影响。针对加速度计设计了温控电路,对其搭载两级内外温控系统,使其工作温度保持恒定,最后对该系统进行了实验测试。实验结果表明：在该温控系统下,加速度计的工作温度控制精度可达±0.02℃。对于加速度计的噪声性能而言,在0.01～10 Hz频段,相较于未加温控系统的加速度计,整体信噪比提高了20 dB。     

武器装备系统数字孪生技术

介绍了数字孪生技术的起源及概念,分析了数字孪生系统与平行系统/仿真推演系统等区别,针对数字孪生在武器装备系统中的应用,进行了技术框架和应用框架设计,并提出了武器装备系统数字孪生在装备感知、模型构建、系统集成、评估预测、交互控制五大领域的关键技术,给出了武器装备系统数字孪生发展在理论及实践方面的启示,以期对武器装备系统中数字孪生技术的应用提供技术支撑。     

基于MEMS器件的弹载组合导航技术

卫星/微惯导组合导航是目前弹载导航系统领域的研究热点。在深入研究弹载卫星/微惯导组合导航体系架构的基础上,分析了弹载导航的关键技术以及各关键技术的解决方案;采用适应高过载环境的微惯性元件及电路模块的缓冲保护措施,提高组合导航系统的抗高过载性能;提出卫星辅助MEMS测量信息的姿态角估计技术解决了空中对准问题,采用基于加性四元数的差量卡尔曼滤波技术,实现了卫星定位与微惯导的高精度组合。试验结果表明,该技术可有效解决制导弹药的导航问题。     

电活性聚合物换能器及其在声学和振动控制领域的应用进展

为探索电活性聚合物(EAP)换能器在声学与振动控制领域应用的可能性,首先对EAP换能器的分类、材料种类和设计技术进行了综述,并对其性能进行了分析比较;然后,详细介绍了EA P换能器在声学和振动控制中的最新应用进展,为研究人员开发新型技术及其应用提供指导.文献分析表明:该技术已取得里程碑式进展并有望在声学和振动控制等领域...     

现代微机电技术的研究与应用现状

微机电技术是20世纪60年代发展起来的一项新兴技术,它将微型机械技术和微电子控制技术相结合,产生了以微型化、集成化和电子化为主要特征的微机电系统。微机电系统不但在民用领域具有巨大的应用潜力,而且其军用前景也相当看好并在不断拓展,预计未来几年这种器件将如同现在的微处理器一样在军事装备中得到普及。 一、制导、导航和控制 以传统机械、环形激光、光纤陀螺和加速度计为基础的惯性测量装置,在炮弹发射时会因震     

中国电子科技集团公司第十三研究所

中国电子科技集团公司第十三研究所．1956年始建于北京．1963年迁至河北石家庄．经过50多年的发展壮大。十三所成为我国成立较早、规模较大、技术力量雄厚、专业结构配套的综合性半导体研究所,主要涉及微电子、光电子、微机械电子系统（MEMS）等三大领域．是硕士学位授予单位,博士联合培养单位。     

人工智能技术在国外舰载武器系统中的应用浅析

近年来，人工智能技术广泛应用于国防等领域，并取得了相关突破。当前人工智能技术在舰载武器系统中的综合应用情况缺乏系统的总结与分析，在充分调研国外相关文献的基础上，总结阐述了人工智能技术在舰载武器系统中探测识别、指挥控制及火力打击等功能系统中的具体应用，并针对性地提出见解。最后，对人工智能技术在舰载武器系统中的应用进行总结，并提出了今后的发展趋势，以期为国内相关技术的应用和发展提供一定的参考。     

多传感器数据融合导论

多传感器数据融合是一项新涌现出的技术,可应用于国防领域,如自动化目标识别、战场监视、自治式运载器制导与控制;也可应用于非国防领域,如复杂机械监视、医疗诊断和新式建筑物。多传感器融合技术源于人工智能、模式识别、统计估计等广泛领域。本论文为数据融合提供了指导,它介绍了数据融合的应用、过程模型和对可应用技术的鉴别,并就数据融合方面的技术发展水平作了评述。     

微乳液法在纳米催化剂制备中的应用及研究进展

综述了微乳液法制备纳米催化剂的基本原理和主要方法以及近年来在催化剂制备中的一些应用.对微乳液法制备纳米催化剂的一些影响因素:如水的含量及表面活性剂的结构和种类对微乳液"水池"尺寸的影响以及对最终形成的纳米粒子粒径的影响,反应物浓度对形成的纳米催化剂粒子的粒度大小和分布的影响,负载粒子对催化剂粒子烧结温度及稳定性等多方面的影响进行了探讨与分析,并对该领域的研究发展作了展望.     

微波副载波复用光纤通信技术及其应用

本文阐述了微波副载波复用光纤通信的原理及特点,介绍了该项技术的发展历史和研究进展,对微波副载波通信系统的技术和性能作了分析,并论述了该技术在系统和通信网中的应用及其运用前景。